[拼音]：dianzi xianweijing

[外文]：electron microscope

根據(jù)電子光學(xué)原理用電子束和電子透鏡代替光束和光學(xué)透鏡，使物質(zhì)的細微結(jié)構(gòu)在非常高的放大倍數(shù)下成像的儀器，簡稱電鏡。電鏡的分辨本領(lǐng)以它所能分辨的相鄰兩點的最小間距來表示。20世紀(jì)70年代，透射式電鏡的分辨率約為0.3納米(人眼的分辨本領(lǐng)約為0.1毫米)。電鏡的最大放大倍率約為100萬倍，而光學(xué)顯微鏡的最大放大倍率約為2000倍，所以通過電鏡就能用肉眼直接觀察到某些重金屬的原子和晶體中排列整齊的原子點陣。

1931年，德國的M.克諾爾和E.魯斯卡首先用冷陰極放電電子源和3個電子透鏡改裝一臺高壓示波器，獲得了放大十幾倍的圖象，證實了電鏡成象放大的可能性。1932年，經(jīng)過魯斯卡的改進，電鏡的分辨本領(lǐng)達到了50納米，約為當(dāng)時光學(xué)顯微鏡分辨本領(lǐng)的10倍，于是電鏡受到人們很大的重視。美國的J.希爾于40年代用消象散器補償電子透鏡的旋轉(zhuǎn)不對稱性，使電鏡的分辨本領(lǐng)有了新的突破，逐步達到了現(xiàn)代水平。在中國，1958年研制成功透射式電鏡，其分辨本領(lǐng)為3納米，1979年又制成分辨本領(lǐng)為0.3納米的大型電鏡 (見彩圖)。電鏡的分辨本領(lǐng)雖已遠勝于光學(xué)顯微鏡，但電鏡因受真空條件的限制，很難觀察活的生物，電子束的照射也會使生物樣品受到輻照損傷，其他如電子槍亮度和電子透鏡質(zhì)量的提高等問題也有待繼續(xù)研究。

分辨本領(lǐng)

電鏡的重要指標(biāo)。顯微鏡的分辨本領(lǐng)可根據(jù)0.6λ/sinα求出，其中α為透過樣品后電子束錐角之半，λ是波長。可見光的波長約為300～700納米，而電子束的波長與加速電壓有關(guān)。當(dāng)加速電壓為 50～100千伏時λ 約為0.0053～0.0037納米。由于電子束的波長遠遠小于可見光的波長，即使電子束的錐角僅為光學(xué)顯微鏡的1％，電鏡的分辨本領(lǐng)仍遠遠優(yōu)于光學(xué)顯微鏡。

組成

電鏡由鏡筒、真空系統(tǒng)和電源柜 3部分組成。電鏡的鏡筒主要有電子槍、電子透鏡、樣品架、熒光屏和照相機構(gòu)等部件。這些部件通常是自上而下地裝配成一個柱體。真空系統(tǒng)(見真空泵)由機械真空泵、擴散泵和真空閥門等構(gòu)成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。電源柜由高壓發(fā)生器、勵磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。

電子透鏡是電鏡鏡筒中最重要的部件，它用一個對稱于鏡筒軸線的空間電場或磁場使電子軌跡向軸線彎曲形成聚焦，其作用與玻璃凸透鏡使光束聚焦的作用相似，所以稱為電子透鏡。現(xiàn)代電鏡大多采用電磁透鏡，由很穩(wěn)定的直流勵磁電流通過帶極靴的線圈產(chǎn)生的強磁場使電子聚焦。圖1為電子在這種透鏡中的運動軌跡。電子槍是由鎢絲熱陰極、柵極和陰極構(gòu)成的部件。它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束，所以加速電壓的穩(wěn)定度要求不低于10^-4。

分類

電鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電鏡、掃描式電鏡、反射式電鏡和發(fā)射式電鏡等。透射式電鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細微物質(zhì)結(jié)構(gòu)。掃描式電鏡主要用于觀察固體表面的形貌，也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合構(gòu)成電子微探針，用于物質(zhì)成分分析。發(fā)射式電鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。

透射式電鏡

因電子束穿透樣品后再用電子透鏡成像放大而得名。它的光路與光學(xué)顯微鏡相仿。圖2為兩者的比較圖。在這種電鏡中，圖像細節(jié)的對比度是由樣品中的原子對電子束的散射形成的。樣品較薄或密度較低的部分電子束散射較少，這樣就有較多的電子通過物鏡光欄參與成像，在圖像中顯得較亮。反之，樣品中較厚或較密的部分在圖像中則顯得較暗。如果樣品太厚或過密則像的對比度就會惡化，甚至?xí)蛭针娮邮哪芰慷粨p傷或破壞。

圖3為透射式電鏡的鏡筒結(jié)構(gòu)。頂部是電子槍，電子由鎢絲熱陰極發(fā)射出、通過第一，第二兩個聚光鏡使電子束聚焦。電子束通過樣品后由物鏡成像于中間鏡上，再通過中間鏡和投影鏡逐級放大，成像于熒光屏或照相干版上。中間鏡有兩個功能：

（1）通過勵磁電流的調(diào)節(jié)，放大倍數(shù)可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍；

（2）改變中間鏡的焦距，即可在同一樣品的微小部位上得到電子顯微像和電子衍射圖像。為了能研究較厚的金屬切片樣品，法國杜洛斯電子光學(xué)實驗室研制出加速電壓為3500千伏的超高壓電鏡。

掃描式電鏡

電子束不穿過樣品，僅在樣品表面掃描激發(fā)出次級電子。放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子，通過放大后調(diào)制顯像管的電子束強度，從而改變顯像管熒光屏上的亮度。顯像管的偏轉(zhuǎn)線圈與樣品表面上的電子束保持同步掃描，這樣顯像管的熒光屏就顯示出樣品表面的形貌圖像，這與工業(yè)電視機的工作原理相類似。掃描式電鏡的分辨率主要決定于樣品表面上電子束的直徑。放大倍數(shù)是顯像管上的掃描幅度與樣品上掃描幅度之比，可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍。掃描式電鏡的主要特點是：

（1）不需要很薄的樣品；

（2）圖像有很強的立體感；

（3）能利用電子束與物質(zhì)相互作用而產(chǎn)生的次級電子，吸收電子和X射線等信息分析物質(zhì)成分。

掃描式電鏡的電子槍和聚光鏡與透射式電鏡的大致相同，但是為了使電子束更細，在聚光鏡下又增加了物鏡和消像散器；在物鏡內(nèi)部還裝有兩組互相垂直的掃描線圈。物鏡下面的樣品室內(nèi)裝有可以移動、轉(zhuǎn)動和傾斜的樣品臺。圖4為掃描式電鏡鏡筒的結(jié)構(gòu)。

參考文章

• 與光鏡相比，用于電子顯微鏡的組織固定有什么特殊的要求?生物知識
• 試比較光學(xué)顯微鏡與電子顯微鏡的區(qū)別。生物知識
• 為什么電子顯微鏡需要真空系統(tǒng)(vacuumsystem)?生物知識
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標(biāo)簽：電子顯微鏡

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文章名稱：《電子顯微鏡》

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